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AES-4TH环境可控探针测试平台
 
一、产品概述
AES-4TH环境可控探针测试平台特别适用于微米级别材料或器件(传感器、探测器、晶体管等)的应用环境模拟测试及综合特性分析。平台通过一体化电学检测、微探针连接、环境控制、显微镜观测的设计和整体屏蔽、防震及抗干扰处理,可提供低至pA级别的精准电学检测、微米级别的精密探针调节、宽范围高稳定性的环境湿度和热台温度控制。平台搭配真空泵可支持真空条件下的器件特性研究,搭配外置光源或者内置光纤可支持器件的光电、光导、光敏气敏等特性研究,搭配湿度可控的气液配气系统可支持器件的气敏、湿敏、抗湿等特性的研究。此外,平台采用多探针连接和底栅设计,可用于FET器件综合特性分析;平台预留的开放型的接口,可搭配电化学工作或阻抗分析仪,进行多信号测量。
 
二、产品特色
01)支持传感器、晶体管、探测器、光电、电化学等测试
02)温度、湿度同时可控,提供稳定的测试环境
03)电学测试可与环境信息(温度、湿度、压强等)同步分析
04)多探针模式,针对场效应测试的底栅设计
05)支持四探针测试,特殊要求可定制
06)高屏蔽效能,电学接口可定制,可以连接各种分析系统及源表
07)配置高倍长焦显微镜,清晰查看微米级别材料和器件
08)支持光纤连接与测试
09)支持气体、温度等传感器测量和标定
 
三、主要技术指标
01)综合性能分析平台,可用于气敏、湿敏、光敏、光敏气敏、FET、电化学等多方向的性能研究,适合各类敏感材料、微纳器件、晶体管、二极管、功率半导体、LED等的性能分析,特别适合MEMS器件、FET器件、传感器芯片等研究
02)石英窗口直径:60 mm
03)控温范围:室温~500℃,实时输出,1℃精度
04控湿范围:2%~90% RH±0.8% RH精度(RT标定),±0.1%RH稳定度
05电流测量:20 pA ~19.5 mA
06电压范围:±200 mV~±23.8 V
07电阻测量:1Ω~50GΩ
08)测试模式:Id-Vd,Id-Vg,I-t,R-t等
09)支持两电极、三电极、四电极器件测试
10特色功能:电学特性转换为传感器信号,气体/温度传感器测量和标定
11)探针调节:前后移动距离(X轴)25 mm(精度约2 mm/360°),左右移动距离(Y轴)10mm(精度约0.5 mm/360°),上下移动距离(Z轴)10 mm(精度约0.5 mm/360°)
12)放大效果:物距 > 10 cm,分辨率约3 μm
13)防震设计:阻尼隔震平台,固有频率9~30 Hz
14栅极(底)电压实施,用于FET等测试
15)气室极限真空度:8×10-1 Pa
16配置静态配气模块,支持液体蒸发,液体蒸发温度:室温~250oC
17可扩展功能1:模拟器件应用环境,探究水分子干扰,低温台可用于研究冷冻、干燥、结露等条件对器件的影响
18可扩展功能2:连接配气系统,可控制气氛和湿度
19可扩展功能3:腔室外定制光路,定制光源的同步调控,或者在腔室内引入光路,如光纤等
20)主机外形大体尺寸:1000 mm × 1000 mm × 500 mm;控制测量系统尺寸:400mm*360mm*200mm
 
 
四、系统照片
 


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