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​MJ-10电极喷镀系统


MJ-10电极喷镀系统,采用压电式按需喷墨打印原理,内含高精度机械控制系统、精准电控探头和高性能压力源,可用于在各种材料、衬底表面直接喷镀金属电极、引脚、沟道及功能材料等,特别适合于功能材料制备、微纳器件制作、芯片测试与修补、器件电路连接等。相较于传统的蒸发/溅射+光刻+刻蚀工艺,或者丝网印刷工艺,MJ-10电极喷镀系统具有操作便捷、精度高、无需掩膜、非接触无损沉积等特点,且沉积的导电浆料(PEDOT、Ag浆、金浆等)或功能材料(碳纳米管、石墨烯等)通常只需低温烘烤,能直接用于制作柔性器件或为可穿戴材料提供可靠的解决方案。


一、产品特色
01)无损非接触式沉积,适用于在硅片、陶瓷、PET等刚性或柔性衬底上喷镀,也适用于在不同材料上喷镀功能涂层或电极材料
02)无需掩模板,电脑绘制图形后直接喷镀
03)精度高,有效替代基于光刻+刻蚀的传统半导体工艺
04)高控制电压,可高达150 V,保证喷射力度,提升可喷射浆料粘度范围
05)适用的浆料体系丰富,能满足各类纳米级稳定体系的导电和非导电浆料及功能材料的需求
06)可扩展性好,更换浆料可以喷镀电极、绝缘层、器件功能材料等
07)易更换部件,用于不同粒子直径和黏度的浆料喷镀
08)耐腐蚀喷镀管路,确保浆料不被污染

二、技术指标
01)X-Y 移动平台:210 mm * 260 mm
02)X-Y 轴精度 / 重复精度:±10 µm / ±5 µm
03)视觉观测模块:水平CCD相机及光源用于液滴观测;竖直CCD相机用于对位识别及打印观测
04)气压控制:精密气压调节阀及精密气压传感器
05)喷头及供液:常温喷头;标准单通道单喷头配置(可选择不同规格的喷头30 μm~100 μm);喷头及供液系统易清洗,可重复使用
06)复杂打印任务:点阵列,连续线,圆弧,曲折线,三维塔状
07)打印模式:非接触式沉积,按需打印
08)浆料种类:PEDOT、Ag-Pd、Ag、Pt、Au、Ti、碳浆、纤维素、松油醇、碳纳米管、石墨烯以及其他功能材料等
09)衬底种类:各种功能材料表面(厚/薄膜材料、低维材料、块体材料等),无机衬底(硅/二氧化硅/氮化硅、陶瓷、玻璃等)、柔性衬底(PET、PEN、PI等)、刚性衬底(FR-4等)、喷墨打印纸(相纸、打印纸)等
10)间距线宽:理论最低间距约20 µm、理论最低线宽约40 µm,与浆料特性(黏度、浸润性等)和衬底特性(粗糙度、亲水性等)以及二者的相互作用有关
11)喷镀面积:图形面积小于150 mm*60 mm,单视场面积5.7 mm*4.3 mm,分辨率2.2 µm
12)控制原理:交流同步伺服与精密滚珠丝杠
13)设计软件:上位机软件设计图形,可视化窗口观察与测量
14)通讯接口:USB
15)配套上位机分析软件,提供软件技术支持
16)主机外形大体尺寸:1150 mm × 750 mm × 1730 mm

三、浆料说明
01)PEDOT/PSS 导电聚合物水溶液,1.3 wt%,粘度低,导电性好
02)银浆料,活性高,导电性好,颗粒尺寸200~300 nm,粘度较高
03)银纳米颗粒分散液,颗粒尺寸5~10 nm,活性高,导电性好,烧结温度低,特别适用于ITO和玻璃衬底
04)水-醇极性体系银纳米颗粒分散液,活性高,导电性好,烧结温度低,特别适用于PET、陶瓷衬底

四、系统照片





五、典型结果



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