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产品介绍
真空探针台适用于低温电输运、相变、电学、光电、射频与微波、晶圆测试、器件失效分析等研究,为各类材料或器件进行非破坏性测量和封装前测试提供测试平台。已开发了系列环境可控的探针台、液氦/液氮制冷剂型的连续流低温真空探针台和制冷机型的闭循环探针台,为材料和器件进行非破坏性测量和封装前测试提供精密的探针连接、良好的电学屏蔽、精准的温度控制、良好的真空密封。探针臂数可扩展至8个,支持各类直流、射频、高阻抗测试探针和多种光纤探针;提供丰富电学输出接口,支持连接源表、半导体分析仪和阻抗分析仪等电学仪表进行精密电学测量;支持搭配配气系统、光源和磁体等功能模块进行气氛、湿度、光照和磁场等的多元控制。此外,我司提供高低温电学、光学、气氛、湿度、真空、磁场控制的一体化解决方案,支持多场或多通道同步测试软件定制。
产品特点
  • 连续流低温真空探针台STR-400
温度控制:3 K~475 K(液氦),78 K~475 K(液氮),更高温度可定制
稳定度:±50 mK,分辨率:±10 mK
降温时间:10 K约0.5 h, 5 K约1 h(2"样品台,室温)
真空腔体:真空度:10-5 Torr ~ 10-6 Torr ,更高真空可定制;腔体及防热辐射屏材料:化学镀镍铝
光学窗口:配置1"石英观察窗1个,支持定制匹配各类光谱或者光电等测试的观察窗口,如楔形窗口
电学测试:标配4探针臂(支持扩展为6臂或8臂),支持直流/低频、微波、光学探针臂,支持BNC、SMA、三同轴等电学接口,支持多型低频探针、微波探针、光纤探针等
  • 闭循环低温真空探针台GMR-300
温度控制
温度范围:4.5 K~ 325 K(500 K可选)
稳定度:±50 mK,分辨率:±10 mK
降温时间:5 K约5 h(2"样品台,高温325 K条件)
真空腔体:真空度:10-5 Torr ~ 10-6 Torr ,更高真空可定制;腔体及防热辐射屏材料:化学镀镍铝
光学窗口:配置1"石英观察窗1个,支持定制匹配各类光谱或者光电等测试的观察窗口,如楔形窗口
电学测试:标配4探针臂(支持扩展为6臂或8臂),支持直流/低频、微波、光学探针臂,支持BNC、SMA、三同轴等电学接口,支持多型低频探针、微波探针、光纤探针等
技术说明
  • 连续流低温真空探针台STR-400
样品座:支持选配同轴、三同轴、绝缘、接地、光学样品座,支持样品座定制
温控台:支持最大样品尺寸为51 mm(2"),支持更大尺寸定制
温度传感:配置硅二极管温度传感器和Pt100温度传感器,分别安装在温控台、防热辐射屏和探针臂
探针调节:X行程:25 mm;Y行程:25 mm;Z行程:10 mm ; 精度:10 μm、5 μm、1 μm可选
系统稳定性:小型化紧凑设计,可安装光学平台上,振动范围±25 nm,探针位置漂移±150 nm(0.5 h)
显微镜:视频显微镜、配置三维位移台、物距>10 cm,分辨率3 μm,支持选配更高分辨率
分析软件;支持定制专用电学分析软件,支持定制与光谱仪、光源、电学仪表同步控制的分析软件
定制服务:可提供低温、电学、光学、光谱学、磁学等多场综合分析的系统化解决方案
 
  • 闭循环低温真空探针台GMR-300
样品座:支持选配同轴、三同轴、绝缘、接地、光学样品座,支持样品座定制
温控台:支持最大样品尺寸为51 mm(2"),支持更大尺寸定制
温度传感:配置硅二极管温度传感器和Pt100温度传感器,分别安装在温控台、防热辐射屏和探针臂
探针调节:X行程:25 mm;Y行程:25 mm;Z行程:10 mm ; 精度:10 μm、5 μm、1 μm可选
系统稳定性:集成了减震台和增重模块,振动范围<1 μm
显微镜:视频显微镜、配置三维位移台、物距>10 cm,分辨率3 μm,支持选配更高分辨率
分析软件:支持定制开发电学分析软件,支持定制与光谱仪、光源、电学仪表同步控制的分析软件
定制服务:可提供低温、电学、光学、光谱学、磁学等多场综合分析的系统化解决方案
产品图片

①  连续流低温真空探针台STR-400

②  闭循环低温真空探针台GMR-300
③  配件图片

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