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CGS-4TPs智能气敏分析系统
 
CGS-4TPs智能气敏分析系统(电阻型)由数据采集系统、控温系统、4对探针调节系统、真空系统、微型气室及测试软件等部分构成。CGS-4TPs智能气敏分析系统在微型气室中利用多点连接实现多样品同步测量,采用外部控温的使得气敏测试摆脱了对器件的依赖,完全保持材料的形貌和结构。同时,分析系统使用4对探针连接被测材料,能够测量材料在不同的位置、方向及角度上的气敏特性。分析系统支持动态配气系统及高真空抽气,从而有利于表征出材料在不同的浓度(ppb甚至ppt量级)及气压(特别是氧压)下的气敏特性。
CGS-4TPs智能气敏分析系统可用于对各种纳米材料、厚膜/薄膜材料、孔材料、粉体/粒子材料、体块材料、半导体、碳管、有机物等进行同时多样品的气敏分析。测量过程仅需将材料放置在分析系统的加热区域,或者将材料沉积在带电极的衬底(如硅衬底或者陶瓷衬底)并放置于分析系统的加热区域即可。测量过程不会对材料的形貌和结构造成破坏,能够测量出材料最真实的气敏特性。
 
一、产品特色
01)8支探针可同时分析4个样品,利用标定选择性和一致性,可实现单样品不同区域测量
02)无需制作传感器件,直接测量材料的气敏特性
03)测量范围大,可测量各种电阻率范围的气敏材料
04)控温范围大精度高,有利于准确寻找最佳工作条件
05)水冷系统冷却,杜绝加热区域对其它组成的影响
06)三维调节探针,实现μm量级的位置调节
07)支持动态配气与不同气压下的气敏测试
08)防漏注气设计,杜绝注气过程中的泄露,提高配气精度
09)气室温度湿度实时监控,提高实验精确度和重复性
10)软件实现电阻值、灵敏度(Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra)、最大值、最小值等气敏特性的实时采集与现实,并支持对数坐标显示,准确体现器件在多个数量级之间的信号变化
 
二、技术指标
01)电源:AC 220 V,最大功率 3520 W,瞬时最大功率可达16 A,一般要求客户的电源在20 A以上)
02)控温范围:室温~500 °C,调节精度1 °C,加温速度约5 °C/s,降温速度约3 °C/s,水冷
03)测量通道数:4对(8根)探针,最多同时测量4个样品
04)测量范围:1 Ω~4 GΩ,全自动测量无需换挡
05)采集间隔:>0.05 s,连续可调
06)采集时限:>1 s,连续可调
07)探针调节:水平旋转30 °C;前后行程1.5 cm,垂直行程0.5 cm(可更换探针),精度10 μm
08)气箱温度、湿度监控
09)注气口2个,注液口1个,液体蒸发器控温范围室温~250 °C
10)通讯接口:USB
11)控制方式:8寸触摸屏
12)配套上位机分析软件,提供软件技术支持
13)真空指标:极限真空度:8 × 10-1 Pa,配有快卸可支持一定高压;极限真空抽速:1 × 105 Pa-8 × 10-1Pa(7 min);真空保持度:8 × 10-1 Pa~20 Pa(50 min)
14)主机外形大体尺寸:600 mm × 400 mm × 180 mm;气箱底座外形大体尺寸:750 mm × 600 mm × 1100 mm;气室尺寸:200 mm × 235 mm × 200 mm × 44 mm;气箱容积:1.8 L
15) 灵敏度温度分析、响应恢复分析、灵敏度浓度分析、选择性分析、稳定性分析等
 
三、注意事项
01)工作中请确保水冷系统中水流正常
02)加热区域可能高温,请勿直接接触
03)真空室内严禁放入放气量大的物质
04)建议配搭动态配气系统以配置低浓度气氛
05)建议使用银钯电极衬底测量材料气敏特性
 
四、系统照片





 
五、典型结果
  

六、附录
1) 使用银钯电极衬底的4样品同时典型测量方法(图中衬底覆盖有ZnO纳米薄膜)
 


2) 配气说明
静态气体配气与液体蒸发配气请参考CGS-8智能气敏分析系统说明页,动态配气请参考动态配气系统说明页。

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